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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2007년도 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2007.5
수록면
2,986 - 2,990 (5page)

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The practical studies on the method of particle contamination control for yield enhancement in the cleanroom were carried out. The method of the contamination control was considered, which is composed of data collection, data analysis, improvement action, verification, and implement control. The composition analysis for data collection and data analysis was used in the cellular phone module packaging lines. And this method was evaluated by the variation of yield loss between before and after improvement action. In case that the composition analysis was applied, the critical sources were selected and yield loss reduction through improvement actions was also investigated. From these results, it is concluded that the composition analysis is effective solutions for particle contamination control in the cleanroom.
#Cleanroom(클린룸) #Contamination Control(오염제어) #Particle(입자) #Particle Composition Analysis(입자성분분석) #Yield Enhancement(수율개선)

목차

Abstract
1. 서론
2. 입자오염제어 방법론
3. 실험
4. 결과 및 고찰
5. 결론
참고문헌

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