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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 1990.9
- 수록면
- 67 - 121 (55page)
이용수
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목차
Ⅰ. 클린룸과 청정도
Ⅱ. VLSI 결함과 오염입자
Ⅲ. 클린룸 오염입자 생성 및 특성
Ⅳ. 클린룸 기류제어 기술
Ⅴ. 결론
참고문헌
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