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대한설비공학회 대한설비공학회 강연회 및 기타간행물 대한설비공학회 1994年度 국제 클린룸 기술 심포지움 第3回 空氣淸靜技術 國際 심포지움
발행연도
1994.10
수록면
21 - 50 (30page)

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In today's highly sophisticated industry, the clean working space is required to improve the performance and the productivity. Cleanroom is the facility which makes a working space clean under the philosophy of global, not local, scope on the basis of clean technology. Many advanced industries in the field of semiconductor, liquid crystal display, genetic engineering, and advanced materials etc. have gained a very good result by adopting cleanroom. To grow continuously these advanced industries, cleanroom technology is required as one of the essential technologies.
Since cleanroom industry has been activated by the rapid growth of semiconductor industry, today Korean cleanroom market is estimated to reach about $250 million. The demand of clean rooms is expanding to the various low technical level of industry in Korea. Thus, not only super clean technology but also economic design and operation technology of cleanroom should be developed in the near future.
The purpose of this paper is to introduce the general status of cleanroom industry in Korea. The spread status and the market structure of cleanrooms are described. The research and development activities, and the establishment status of the cleanroom standard are also presented. Finally, the activities of associations related with cleanroom are introduced.

목차

ABSTRACT

1. 머릿말

2. 클린룸의 보급 현황 및 시장구조

3. 클린룸 관련 기술개발동향

4. 클린룸 기준 제정의 현황

5. 클린룸 관련 단체의 활동

6. 맺음말

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