메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
Korean Society for Precision Engineering International Journal of Precision Engineering and Manufacturing International Journal of Precision Engineering and Manufacturing Vol.8 No.2
발행연도
2007.4
수록면
20 - 25 (6page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
This paper describes a second-generation dual sine-grid surface encoder for 2-D position measurements. The surface encoder consisted of a 2-D grid with a 2-D sinusoidal pattern on its surface, and a 2-D angle sensor that detected the 2-D profile of the surface grid. The 2-D angle sensor design of previously developed first-generation surface encoders was based on geometric optics. To improve the resolution of the surface encoder, we fabricated a 2-D sine-grid with a pitch of 1 0 ㎛n. We also established a new optical model for the second-generation surface encoder that utilizes diffraction and interference to generate its measured values. The 2-D sine-grid was fabricated on a workpiece by an ultra precision lathe with the assistance of a fast tool servo. We then performed a UV-casting process to imprint the sine-grid on a transparent plastic film and constructed an experimental setup to realize the second-generation surface encoder. We conducted tests that demonstrated the feasibility of the proposed surface encoder model.
#Surface encoder #Position detection #Measurement #Optical sensor #Nanometer

목차

1. Introduction
2. Surface encoders
3. Principle of the new encoder
4. Experiment
5 Concluisions
ACKNOWLEDGEMENTS
REFERENCES

참고문헌 (19)

참고문헌 신청
, 2000 , Ultraprecision 6-axis table driven by the means of a walking drive 49 (1) : 299 ~ 302 google schola , 2001 , Dynamics and control of the UNCC, MIT sub-atomic measuring machine 50 (1) : 373 ~ 376 google schola , 1998 , High precision magnetic levitation stage for photolithography 22 (2) : 66 ~ 77 google schola , 2000 , A 6-degree-of-freedom measurement system for the accuracy of XY stages 24 : 15 ~ 23 google schola , 2005 , High resolution planar encoder by retro-reflection 76 (085110) : 17 ~ google schola

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

An Ultra-precision Electronic Clinometer for Measurement of Small Inclination Angles
Siew‐Leng Tan ,  Satoshi Kataoka ,  Tatsuya Ishikawa 외 5명 한국생산제조학회지 2014 .12
Fabrication of Large-area Micro-lens Arrays with Fast Tool Control
Young Jin Noh ,  Yoshikazu A ,  ai 외 2명 International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 2008 .10
A High-speed Atomic Force Microscope for Precision Measurement of Microstructured Surfaces
Yuguo Cui ,  Yoshikazu A ,  ai 외 3명 International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 2008 .06

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-555-016780059