메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
Korean Society for Precision Engineering International Journal of Precision Engineering and Manufacturing International Journal of Precision Engineering and Manufacturing Vol.7 No.4
발행연도
2006.10
수록면
18 - 22 (5page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
Although many efforts have been made in making nanometer-sized holes, there is still a major challenge in fabricating individual single-digit nanometer holes in a more controllable way for different materials, size distribution and hole shapes. In this paper we describe our efforts to use a top down approach in nano-fabrication method to make single-digit nanoholes. There are three major steps towards the fabrication of a single-digit nanohole. 1) Preparing the freestanding thin film by epitaxial deposition and electrochemical etching. 2) Making sub-micro holes (0.2 ㎛ to 0.02 ㎛) by focused ion beam (FIB), electron beam (EB), atomic force microscope (AFM), and others methods. 3) Reducing the hole size to less than 10 ㎚ by epitaxial deposition, FIB or EB induced deposition and micro coating. Preliminary work has been done on thin films (30 ㎚ in thickness) preparation, sub-micron hole fabrication, and E-beam induced deposition. The results are very promising.
#Nanohole fabrication #Epitaxial deposition #Electrochemical etching #Focused ion beam #Electron beam #Atomic force microscope

목차

1. Introduction
2. Research Design and Methods
3. Reducing the hole to less than 10 ㎚
4. Preliminary experimental results
5. Conclusions
REFERENCES

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

집속이온빔을 이용한 나노 패턴 형성
한진 ,  민병권 ,  이상조 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2005 .06
AFN Printing 및 집속이온빔 (FIB)을 이용한 서브마이크로 이종재료 외팔보의 제작
김호진 ,  안성훈 ,  윤해성 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2015 .05
나노 홈 구현을 위한 FIB 공정기술 연구
최현석 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2010 .05
FIB-Sputtering 가공공정기술 및 응용분야 연구
강은구 ,  최병열 ,  홍원표 외 2명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2008 .03

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-555-016779938