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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2005년도 춘계학술대회 논문요약집
발행연도
2005.6
수록면
368 - 368 (1page)

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2008

집속이온빔 밀링 공정을 이용한 나노패턴 가공의 높이 예측
한진 ,  이희원 ,  민병권 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2008.06 학술대회자료

2005

집속이온빔을 이용한 나노 패턴 형성
한진 ,  민병권 ,  이상조 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2005.06 학술대회자료

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#집속이온빔(Focused Ion Beam) #나노 패턴(nano pattern) #밀링(milling)

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Jack Zhou ,  Guoliang Yang International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 2006 .10
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김규만 ,  정성일 ,  오현석 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2006 .03
나노사출성형용 스탬퍼 제작을 위한 Electron beam lithography 패터닝 연구
엄상진 ,  서영호 ,  유영은 외 3명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2005 .10

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-555-016869191