집속이온빔의 증착제어요건을 고려한 미세 패턴 형성 연구

김준현; 김종형; 장동영

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김준현 (서울테크노파크) 김종형 장동영

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2009년도 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2009.6

수록면: 885 - 886 (2page)

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#Deposition #FIB #Micro-manufacturing #Patterning #Re-deposition #Wafer

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주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 5% 공학 > 산업공학

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김종형

소속기관 서울과학기술대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 5% 공학 > 전기전자공학 > 제어계측공학 TOP 10%

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장동영

소속기관 한국전자기계융합기술원

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 5% 공학 > 기계공학 > 자동차공학

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