반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구

이욱현 ,  조종표 ,  정학근 외 2명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2015 .06

고성능 광학창을 삽입한 새로운 광학 프로브를 이용한 비접촉 반도체 웨이퍼 미소 형상 측정 시스템 개발

박희재 ,  안우정 ,  조성욱

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

3D 형상 측정용 고속/고정밀 멀티프로브 측정시스템 개발

오연택

한국기계기술학회지

2014 .01

New Optical Technologies for Precision Measurement and Fabrication

Seung-Woo Kim

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

주문형 반도체 웨이퍼 공정분석을 위한 시뮬레이션 연구

김기영 ,  이정호 ,  강창호 외 1명

산업공학 (IE interfaces)

2005 .03

차세대 반도체/디스플레이 공정을 위한 정밀 형상 측정

진종한

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

Uncertainty Evaluation of Optical Wafer Thickness Measurements

C.-S. Kang ,  A. P. D ,  ija 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

펨토초 펄스 레이저를 이용한 반도체/디스플레이 공정에서의 정밀 형상 측정 기술

진종한 ,  박정재 ,  안흘비 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2015 .11

정밀 삼차원 측정을 위한 백색광 간섭 광학 프로브 개발

김승우 ,  진종한 ,  강민구

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2002 .05

반도체 Wafer Test 시 Probe Mark 정밀도 향상 방안 연구

손기복 ,  함상식 ,  최명택 외 6명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2012 .05

반도체 생산에서 초정밀 길이 측정 ( Precision Measurements for Integrated Circuit Fabrication )

김승우

대한기계학회지

1993 .02

웨이퍼 변형측정 광학모듈의 성능 및 신뢰성 평가

김재완 ,  이재용 ,  김종안 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

고 세장비 프로브의 전장 정밀 측정용 검사 시스템 개발

백병선 ,  신세훈 ,  임태균 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2014 .11

백색광의 제한 간섭성을 이용한 광학현미경프로브의 자동초점맞춤 ( Auto-Focusing of an Optical Microscopic Probe by White Light Interferometry for Noncontact Coordinate Metrology )

강민구 ,  박현구 ,  김승우

대한기계학회 춘추학술대회

1995 .01

높은 흐름각 측정이 가능한 7공 프로브 개발

양재훈 ,  장조원

한국항공우주학회 학술발표회 초록집

2005 .11

AFM 프로브의 회전 정밀도 측정 및 개선

이상훈 ,  이상헌

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

적외선 광간섭계 기반의 실리콘 웨이퍼 정밀구조계측

박정재

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .10

반도체 제작을 위한 웨이퍼 배치 내부 유동 분석

강승환 ,  손동기 ,  고한서

한국전산유체공학회 학술대회논문집

2017 .11

반도체 공정에서의 웨이퍼 불량 유형 분류 시뮬레이션

하얀 ,  한영신

제어로봇시스템학회 합동학술대회 논문집

2004 .12

Single-configuration FPP method에 의한 실리콘 웨이퍼의 비저항 정밀측정

강전홍 ,  유광민 ,  구경완 외 1명

전기학회논문지

2011 .07