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이용수
ABSTRACT
1. 서론
2. 전체 측정 시스템
3. 측정 결과 및 오차 분석
4. 결론
후기
참고문헌
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백색광의 제한 간섭성을 이용한 광학현미경프로브의 자동초점맞춤 ( Auto-Focusing of an Optical Microscopic Probe by White Light Interferometry for Noncontact Coordinate Metrology )
대한기계학회 춘추학술대회
1995 .01
백색광의 제한 간섭성을 이용한 초정밀 위치결정 ( Ultra-precision Positioning By Using Coherence of White Light )
대한기계학회 논문집 A권
1997 .06
백색광 간섭계의 응용 및 정확도 향상
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2011 .10
저 배율 렌즈를 이용한 Wafer 검사용 백색광 주사간섭계의 대면적 광학계 구성과 알고리즘 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2006 .10
두 간섭계를 이용한 광학식 형상 측정법
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2018 .04
높은 단차 측정을 위한 이중 가간섭성 백색광 주사 간섭계
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
백색광 간섭계 구도를 사용한 넓은 파장 영역에서의 열광학계수 측정 방법
한국통신학회 기타 간행물
2009 .12
자유 곡면 형상 측정을 위한 백색광 주사 간섭계의 정확도 향상 및 시스템 오차 분석
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2014 .07
백색광 간섭계에서 광원에 따른 측정 효과
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2007 .05
백색광 주사 간섭법을 이용한 대영역 측정법
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2006 .05
백색광 간섭계를 이용한 TSV Bottom CD 측정 방법에 관한 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2015 .10
LCD 부품 검사를 위한 백색광 주사 간섭계(White light Scanning Interferometry) autofocusing 장치 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2006 .10
분산형 백색광 간섭계를 이용한 미세 박막 구조물의 삼차원 두께 형상 및 굴절률의 실시간 측정
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2006 .05
백색광 간섭계를 이용한 LCD Glass 의 Pole 높이 측정 검사
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2007 .04
우주프로젝트를 위한 초정밀 광계측
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2013 .04
반도체 불량 검사를 위한 백색광 간섭계의 고속화
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2007 .06
광위상간섭에 의한 경면의 정밀 형상측정 ( Precision Profile Measurement of Mirror Surfaces by Phase Shifting Interferometry )
대한기계학회 논문집
1992 .08
스마트 기기를 위한 정밀 구조 계측
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .05
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