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대한설비공학회 설비공학논문집 空氣調和·冷凍工學 論文集 제1권 제1호
발행연도
1989.2
수록면
32 - 45 (14page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1989

클린 터널형 클린룸 설계를 위한 유동특성의 실험적 연구
배귀남 ,  임학규 ,  오명도 설비공학논문집 1989.02 학술저널

1988

클린 터널형 클린룸의 유동 특성에 관한 실험적 연구
배귀남 ,  임학규 ,  오명도 대한설비공학회 학술발표대회논문집 1988.11 학술대회자료

초록· 키워드

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The airflow characteristics of clean tunnel type clean room were experimentally investigated with the change of operating speed and exit type. Distributions of air velocity and pressure were measured in clean room which is located lower than HEPA filters, and the pressure distribution was also measured in upper plenum which is located above the HEPA filters, to identify the performance of clean room. Through the analysis it was turned out that air velocity characteristics in clean room were significantly affected by the upper plenum flow conditions such as pressure distribuion. This results will be useful in the actual clean room design to enhance the performance.

목차

ABSTRACT

1. 서론

2. 실험 시스템

3. 클린룸의 속도분포 특성

4. 클린룸 및 플레넘의 압력분포 특성

5. 클린룸의 속도분포 특성과 플레넘의 압력분포 특성간의 상관성

6. 결론

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