대구경 렌즈의 형상 측정을 위한 Fizeau 간섭계 시스템 개발

배광환; 이응석; 이기암; 김옥현

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자료유형: 학술저널

저자정보: 배광환 이응석 이기암 김옥현

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제30권 제12호

발행연도: 2006.12

수록면: 1,649 - 1,657 (9page)

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Fizeau interferometer is well known optical instrument for measuring the lens profile accurately. The object of this study is focused on the design and optical measuring techniques for large optical components, such as a reflection mirror for astronomical purpose. Measuring of large optical lens, the object could not be moved as small one but the measuring instrument must be moved for the alignment, because of the geometric conditions and the accuracy of the stage. Therefore, a five axis stage is designed to align the Interferometer instead of the measuring object. This instrument will be used for an on machine measuring system in polishing machine for large optical lens.

#Fizeau Interferometer(피조 간섭계) #Large Optics(대구경 렌즈) #OMM(On Machine Measurement) #Profile Measurement(형상측정)

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Daniel Malacara-Hernandez and Daniel Malacara-Doblado, 1999, "Testing of Aspheric Wavefronts," Fabrication and Testing of Aspferes, Optical Society of America, pp. 74~85.

David Williamson, Robert Kestner and Daniel Bajuk, 1999, "Asphere in Microlithography," Fabrication and Testing of Aspferes, Optical Society of America, pp. 8~16.

Eugene Hecht, 2002, Optics, Addison Wesley Long- man Inc.

Song J. B., 2004, “Phase Shift Shear Interferometer Using a Wedge Plate,” KAIST, PhD Thesis, pp. 15~23.

Kim D. H., 2004, “Profile Measurement and Stabilization Using Laser Interferometer,” Chousun University, MSc Thesis, pp. 22~30.

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