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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2007년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2007.6
수록면
761 - 762 (2page)

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2008

점회절 광간섭계를 이용한 연마된 실리콘 웨이퍼 표면형상 측정
권택민 ,  김승우 ,  김학용 외 2명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2008.05 학술대회자료

2007

연마된 실리콘 웨이퍼의 표면형상 측정을 위한 진동 둔감 광 간섭계
권택민 ,  김승우 ,  김학용 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2007.06 학술대회자료

2006

진동 둔감 광 간섭계를 이용한 실리콘 웨이퍼 표면형상 측정
권택민 ,  김학용 ,  김승우 외 2명 대한기계학회 춘추학술대회 2006.06 학술대회자료

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#interferometer #profile measurement #common path #spatial phase shifter

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