광학면 연마기의 OMM을 위한 Hartmann Test 방법 연구

김옥현; 이응석; 오창진; 김용관

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김옥현 이응석 오창진 김용관

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제21권 제1호

발행연도: 2004.1

수록면: 40 - 45 (6page)

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Recently, aspheric optical lenses and mirrors, which are harder to manufacture and measure than the conventional spherical ones, are widely used, particularly in electronic fabrication process. Generally, interferometric optical method is used for the measurement of spherical optical surface. However, the interferometric method for aspheric surface measurement is difficult because it needs a precise null corrector and strict environmental conditions such as constant temperature, humidity and vibrations. We have been studied on the manufacturing of aspheric optics to improve the surface profile accuracy and productivity using a corrective polishing process. For the corrective polishing, a practical method of On-Machine Measurement (OMM) is required. For this purpose, an optical OMM system has been studied using the Shach-Hartmann test, which is very robust to the practical polishing environment. The wavefront has been reconstructed from the measured data using the primary aberration polynomial function by the least squares fitting. The measured result of the OMM system shows that the maximum deviation is less than 200 nm for the one of commercial Fizeau interferometer Wyko 6000.

#Aspheric surface(비구면 광학면) #Shach-Hartmann Test #On-Machine Measurement(OMM, 기상측정) #수차(Aberration) #파면(Wave front)

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