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한국융합신호처리학회 융합신호처리학회 논문지 융합신호처리학회 논문지 제7권 제3호
발행연도
2006.1
수록면
122 - 129 (8page)

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본 논문에서는 고차 비구면 렌즈의 성능 평가를 위해, Fizeau 형 위상 천이 간섭계(FPSI) 시스템을 제안한다. 제안된 Fizeau 형 위상 천이 간섭계 시스템은 광학부와 신호처리부로 나뉘며 이는 하드웨어 운용 프로그램을 통해 구동된다. 또한, 제안된 시스템으로 획득된 간섭무늬를 해석하기 위해, 위상 천이 알고리즘을 적용한 간섭무늬 해석 프로그램을 개발하였다. 본 논문에서 제안한 FPSI 시스템의 측정 결과는 업계 표준으로 사용되고 있는 Zygo 사의 간섭계 측정 장치인 Mark Ⅳ와 직접 비교함으로써 그 타당성을 입증하였다. 평가된 고차 비구면 렌즈의 표면 오차에 대한 PV(Peak-to-Valley) 및 RMS 값은 각각 0.845 wave 및 0.1871 wave로 측정되었고 Mark Ⅳ와 비교한 결과, 측정 오차는 각각 이하로 계산되었다. 또한, 비구면 렌즈의 성능평가 시스템의 반복능도 이하의 신뢰할 만한 결과를 얻었다.

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