메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2006년도 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2006.6
수록면
3,105 - 3,108 (4page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

이 논문의 연구 히스토리 (3)

2008

점회절 광간섭계를 이용한 연마된 실리콘 웨이퍼 표면형상 측정
권택민 ,  김승우 ,  김학용 외 2명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2008.05 학술대회자료

2007

연마된 실리콘 웨이퍼의 표면형상 측정을 위한 진동 둔감 광 간섭계
권택민 ,  김승우 ,  김학용 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2007.06 학술대회자료

2006

진동 둔감 광 간섭계를 이용한 실리콘 웨이퍼 표면형상 측정
권택민 ,  김학용 ,  김승우 외 2명 대한기계학회 춘추학술대회 2006.06 학술대회자료

초록· 키워드

오류제보하기
We devised a vibration-insensitive interferometer with a common-path scheme of generating the reference wave directly by transmitting the measurement wave through a single-mode fiber. This fiber-diffraction interferometer enables to cancel out the dominating vibration effect encountered commonly in both the reference and measurement waves in the due course of the two waves’ interference. Besides, to suppresss parasite vibration disturbances caused to interferometer hardware components, a special type of spatial phase-shifter is added to capture four phase-shifted interferograms simultaneously without time delay using a single camera shot. The proposed interferometer system is capable of providing a high level of vibration immunity that is found useful for testing large scaledsilicon wafer's surface profile when sufficient ground isolation for anti-vibration is not feasible.
#interferometer(간섭계) #profile measurement(표면형상 측정) #common-path(공통경로) #spatial phase shifter(공간위상천이장치)

목차

Abstract
1. 서론
2. 진동에 둔감한 점회절 간섭계
3. 측정 결과
4. 결론
참고문헌

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

위상마스크를 사용하는 동시위상천이 간섭계의 위상천이 값 측정 및 보정방법
이동원 ,  김재완 ,  한재원 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2013 .05

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-550-016800973