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유도결합형 플라즈마 방전 시뮬레이션에서 EEDF를 플라즈마 전체 영역에 적용시킬 수 있는 개선된 새로운 방법
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
수치적 해석 기법의 차이에 따른 1D CCP simulation 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
EEDF를 통한 전자빔 플라즈마 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
Ar, N₂ 전자빔 플라즈마의 특성 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
저밀도 유도 결합 플라즈마에서 전자 에너지 분포 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
고밀도 플라즈마의 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
산소 플라즈마에서 전자의 부착 및 탈착이 전자 에너지 분포 함수에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
전자와 이온의 에너지 분포 함수를 고려한 축전 결합형 플라즈마 장비의 방전 시뮬레이션
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
STUDY OF NON - MONOTONOUS EEDF IN LOW PRESSURE PLASMA SOURCES
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .06
HF 플라즈마의 방전 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
대면적 플라즈마 반응기에서의 안테나와 aspect ratio에 따른 플라즈마의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
CF4를 적용한 3차원 반도체용 ICP 방전에서 heat, flow, eedf를 고려한 시뮬레이션
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
대기압 플라즈마의 대기환경기술 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
헬리콘 플라즈마의 연구 현황
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
축전결합플라즈마의 전자가열 연구와 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
헬리콘 플라즈마의 전기적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
물 전극 대기압 플라즈마의 방전특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
사이레인 플라즈마에서 발생하는 실리콘 기반 나노입자 및 플라즈마의 in-situ 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
유도결합형 플라즈마 발생기(Inductively Coupled Plasma Source)에서 발생되는 산소 플라즈마의 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
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