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학술대회자료
저자정보
채길병 (한국과학기술연구원) 선창래 (한국과학기술연구원) 최원호 (한국과학기술연구원) 정진욱 (한양대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제36회 동계학술대회 초록집
발행연도
2009.2
수록면
257 - 257 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2009

사일레인, 알곤, 수소의 혼합기체로 발생된 플라즈마에서 수소 효과
채길병 ,  선창래 ,  문세연 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2009.08 학술대회자료
사이레인 플라즈마에서 발생하는 실리콘 기반 나노입자 및 플라즈마의 in-situ 진단
채길병 ,  선창래 ,  최원호 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2009.02 학술대회자료

2008

방전 조건 변화에 따른 사일레인 플라즈마에서 입자가 없는 void 생성 연구
채길병 ,  선창래 ,  최원호 한국진공학회 학술발표회초록집 2008.02 학술대회자료

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RF 안테나 주파수에 따른 유도결합형 수소 플라즈마 이온원의 수소 이온 밀도 분율 변화 연구
허성렬 ,  김곤호 한국진공학회 학술발표회초록집 2010 .08

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2012-554-003924045