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유도결합형 플라즈마 방전 시뮬레이션에서 EEDF를 플라즈마 전체 영역에 적용시킬 수 있는 개선된 새로운 방법
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
EEDF를 통한 전자빔 플라즈마 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
CF4를 적용한 3차원 반도체용 ICP 방전에서 heat, flow, eedf를 고려한 시뮬레이션
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
EEDF measurement in SF6+O2 & CF4+O2 mixture gas capacitively coupled plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
CCP플라즈마의 조건에 따른 EEDF와 Radical변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .08
Review of Plasma Sources
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
Characteristics of the Low Pressure Plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
Ar gas를 이용한 평행 평판형 전극 DC 플라즈마 특성 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
Effect of hybrid plasma source on O radical generation in oxygen plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
Modified Fluid Simulation of an Inductively Coupled Plasma Discharge
Applied Science and Convergence Technology
2019 .11
Control of electron energy distribution by hybrid plasma source in low gas pressure
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
Gas and Magenetic Field Effect to Low Pressure Plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
2차원 유도결합형 플라즈마 방전에서 전자 에너지 분포 함수, 유체의 흐름 및 열전달을 고려한 시뮬레이션
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
Development of Atmospheric Pressure Plasma Sources in KRISS
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
저밀도 유도 결합 플라즈마에서 전자 에너지 분포 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
수치적 해석 기법의 차이에 따른 1D CCP simulation 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
광진단을 통한 플라즈마 공정 상태 변동 메커니즘 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
새로운 방식의 하이브리드 모델을 적용한 반도체 공정용 유도 결합형 플라즈마 방전 시뮬레이션
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
산소 플라즈마에서 전자의 부착 및 탈착이 전자 에너지 분포 함수에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
Plasma-induced reaction at plasma-liquid and plasma-polymeric film interface by AC-driven atmospheric pressure plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
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