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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국자기학회 한국자기학회지 한국자기학회지 제4권 제4호
발행연도
1994.12
수록면
319 - 325 (7page)

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제조조건이 다른 여러 퍼멀로이 합금 타게트를 사용하여 RF 마그네트론 스퍼터링법에 의해 퍼멀로이(NiFe) 박막을 증착시킬 경우 타게트의 제조조건이 박막의 자기특성에 미치는 영향을 조사하였다. 타게트를 여러 온도에서 어닐링한 결과 650℃ 이상의 온도에서 재결정이 일어나 미세구조는 압연조직에서 미세한 재결정립 조직으로 바뀌었으며 이에 따른 집합조직은 (110) 집합조직에서 random 집합조직으로 변화가 일어났다. 재결정이 일어나지 않은 타게트를 사용하여 투입전력 300 및 400W에서 증착한 박막의 경우 보자력은 1~5mTorr의 비교적 넓은 범위의 아르곤 압력에서 낮은 값을 나타내었으며 이때의 최소값은 0.20 Oe 이하였다. 반면, 재결정이 일어난 타게트의 경우 투입전력 300 W에서는 5 mTorr에서 400 W에서는 1 mTorr에서만 보자력이 낮은 값을 나타내었으며 이때의 최소값은 0.25 Oe 이하였다. 박막의 내부응력은 타게트에 관계없이 아르곤 압력이 증가함에 따라 압축응력에서 인장응력으로 변하였으며 타게트에 따라 5 mTorr에서 거의 사라졌다. 박막의 보자력 및 투자율의 변화는 타게트에 따라 변화되는 박막 조성 및 내부응력의 차이에 기인한 것으로 고찰되었다.

목차

국문초록

Ⅰ. 서론

Ⅱ. 실험방법

Ⅲ. 실험결과 및 고찰

Ⅳ. 결론

참고문헌

Abstract

참고문헌 (0)

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