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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국자기학회 한국자기학회지 한국자기학회지 제4권 제1호
발행연도
1994.3
수록면
32 - 38 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

1994

조성변조 Co / Pt 초격자 박막의 Ar 가스 압력변화에 따른 자기 및 자기광학적 특성
유천열 ,  김진홍 ,  신성철 한국자기학회지 1994.03 학술저널

1993

Co / Pt 초격자 다층박막의 Ar 가스 압력의 변화에 따른 자기 및 자기광학적 특성
유천열 ,  신성철 한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집 1993.05 학술대회자료

1992

Co / Pd 초격자 다층박막의 Pd 하지층의 영향
유천열 ,  신성철 한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집 1992.10 학술대회자료

초록· 키워드

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조성변조 Co / Pt 다층박막의 자기적 성질 및 자기광학적 성질에 박막제조시 스퍼터링 Ar 가스 압력이 끼치는 영향을 조사하였다. 다층박막을 dc-magnetron 스퍼터링 방법으로 Ar 가스의 압력을 2에서 30 mTorr 까지 변화시켜 가면서 제조한 후 주사 전자 현미경과 x-ray 회절실험을 이용한 미세구조의 분석과 보자력, 포화 자화량, Kerr 회전각, 반사도등의 자기 및 자기광학적 특성을 조사하였다. Ar 가스의 압력이 10 mTorr 이하에서는 주상구조(columnar structure)가 형성되지 않다가 20 mTorr 부터 급격히 증가함이 관찰되었고, 이는 초격자 박막의 미세구조의 변화에 기인한다고 사려된다. 또, 포화 자화량과 Kerr 회전각, 반사율등의 변화를 Ar 가스 압력의 변화에 따른 박막의 미세구조와 연관지어서 설명하였다.

목차

국문초록

Ⅰ. 서론

Ⅱ. 실험

Ⅲ. 결과 및 논의

Ⅳ. 결론

감사의 글

참고문헌

Abstract

참고문헌 (0)

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