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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국자기학회 한국자기학회지 한국자기학회지 제4권 제3호
발행연도
1994.9
수록면
201 - 207 (7page)

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RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작된 퍼멀로이 (NiFe) 박막에 대하여 투입전력, 아르곤 압력, 바이아스 전압 등의 스퍼터링 조건이 퍼멀로이 박막의 자기특성에 미치는 영향을 조사하였다. 투입전력에 따른 보자력의 변화는 300~400W에서 낮은 값을 지녔으며 아르곤 압력에 따른 변화는 1~5mTorr에서 낮은 값을 나타내었다. 스퍼터링 조건에 따른 최소의 보자력값은 400W, 5mTorr와 300W, 2mTorr에서 각각 0.10 Oe를 나타내었고 최대의 투자율값은 400W, 5mTorr에서 2800(1 ㎒)을 나타내었다. 또한 저압의 스퍼터링 압력에서 바이아스를 가할 경우 보자력은 이에 비례해서 오히려 증가하였다. 박막의 Ni 함량의 변화는 아르곤 압력이 증가함에 따라 점차적으로 감소하나 2~10mTorr 범위에서는 다시 증가하는 경향을 보였다. 내부응력은 아르곤 압력이 증가함에 따라 압축응력에서 인장응력으로 변하였으며 5mTorr에서 내부응력이 거의 사라졌다.

목차

국문초록

Ⅰ. 서론

Ⅱ. 실험방법

Ⅲ. 실험 결과 및 고찰

Ⅳ. 결론

참고문헌

Abstract

참고문헌 (0)

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