PS-b-PMMA block copolymer etching using neutral beam

Jinwoo PARK ,  Kihyun KIM ,  Deokhyun YUN 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Low Angle Forward Reflected Neutral Beam Etching System을 이용한 High Flux, Low Energy 중성빔의 형성

박병재 ,  이도행 ,  염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .02

ETCHING CHARACTERISTICS OF MAGNETIC THIN FILMS BY ION BEAM TECHNIQUE

H. C. Lee ,  S. D. Kim ,  S. H. Lim 외 3명

한국자기학회지

1995 .10

Effect of the Neutral Beam Energy on Low Temperature Silicon Oxide Thin Film Grown by Neutral Beam Assisted Chemical Vapor Deposition

HyunWook So ,  DongHyeok Lee ,  JinNyoung Jang 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

Atomic-Layer Etching of High-k Dielectric Al2O3 with Precise Depth Control and Low-Damage using BCl3 and Ar Neutral Beam

김찬규 ,  민경석 ,  염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

A study on the ion beam etching characteristics in the high aspect ratio contact

Ilhyeong LEE ,  Jongkyu KIM ,  Jongsoon PARK 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Influence of Neutral Particle Beam Energy on the Structural Properties of Amorphous Carbon Films Prepared by Neutral Particle Beam Assisted Sputtering

이동혁 ,  장진녕 ,  권광호 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Applications of fluid based plasma simulation : dry etch

주정훈

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Neutral Beam Splitter의 특성 연구

조현주 ,  조국산 ,  황보 창권

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

Study on etching-shape of ZnO Film by wet-chemical etching

Dong Geun Yoo ,  Myoung Hwa Kim ,  Seong Hun Jeong 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

Low-Angle Forward-Reflected Neutral Beam Etching을 이용한 SOI (silicon on insulator) wafer의 표면조도 향상에 관한 연구

민태홍 ,  박병재 ,  김이연 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

A study on the phenomenon of non uniformity at isolate pattern using ion beam etching

Jongsoon PARK ,  Jongkyu KIM ,  Sangkuk KIM 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Effect of F-based Neutral beam treatment on Al₂O₃ Gate Dielectrics

김성우 ,  박병재 ,  염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

Selective Etching of Magnetic Layer Using CO/NH₃ in an ICP Etching System

J. Y. Pa ,  k ,  S.-K Kang 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Effects of High Neutral Beam Energy on the Properties of Amorphous Carbon Films

이동혁 ,  장진녕 ,  권광호 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Plasma Dry Etching 방법에 의한 Wafer Backside Etch 특성 평가

한영기 ,  서영수 ,  유재하 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

플라즈마 식각 공정에서의 미세구조 식각에 관한 이론적 연구

이창덕 ,  박상규

Applied Science and Convergence Technology

1994 .03

ETCHING TIME DEPENDENCE OF MAGNETIC PROPERTIES IN ONE SIDE ETCHED Co - BASED RIBBON

Lan Jin ,  CheolGi Kim ,  SeokSoo Yoon 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2005 .06

원자층 식각기술

염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Etching Characteristics of Au Film using Capacitively Coupled CF4/Ar Plasma

Kim ,  Gwang-Beom ,  Hong 외 1명

동굴

2007 .01