반응성 RF Magnetron Sputtering법으로 제조된 AlN박막의 증착 변수들이 굴절율에 미치는 영향

남창길 ,  최승우 ,  조동율 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

In - situ x - ray scattering studies of AlN thin films on sapphire substrates by RF magnetron sputtering

S.H.Seo ,  M.S.Yi ,  H.C.Kang 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

RF-Magnetron Sputtering법으로 제작된 금속 PCB용 AlN 절연층의 특성

박정식 ,  류성원 ,  배강 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Growth of AlN Thin Film on Sapphire Substrates and ZnO Templates by RF-magnetron Sputtering

Hyunseok Na

Applied Science and Convergence Technology

2010 .01

Effects of Sputtering power and targetsubstrate distance on the microstructures of AlN thin films fabricated by reactive RF sputtering

김부경 ,  김병균 ,  노용한

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

Epitaxial growth of single crystalline AlN on Si(111) substrate using DC magnetron sputtering at room temperature

In-Su SHIN ,  Donghyun KIM ,  Donghyun LEE 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Magnetron Sputtering Technology의 연구 및 개발 방향에 대한 동향

박장식

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Structural and Optical Properties of CdS Thin Films Deposited by R.F. Magnetron Sputtering

황동현 ,  안정훈 ,  손영국

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Effect of post heat-treatment on microstructure and dielectric properties of Ba_0.5Sr_0.5TiO₃ thin films by RF magnetron sputtering

Chil-Hyoung Lee ,  Doo-Jin Choi ,  Young-Jei Oh

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Growth of ZrO₂ Thin Films Using RF Magnetron Sputtering and Study of Their Surface Characteristics

Yong Sup Sin ,  In Seob Bae ,  Hyon Tae Kwak 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

Nanoscale microstructure and magnetic transport in AlN / Co / AlN / Co... discontinuous multilayers

C. J. Yang ,  M. Zhang ,  Z. D. Zhang 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2003 .06

Nanoscale Microstructure and Magnetic Transport in AlN / Co / AlN / Co... Discontinuous Multilayers

C. J. Yang ,  M. Zhang ,  Z. D. Zhang 외 1명

Journal of Magnetics

2003 .06

Comparision of Measurement and Calculation for Thin Films Thickness Distribution Coated by Magnetron Sputter System

Jang-Sick Pa ,  k ,  Ji-Young Oh 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

RF 마그네트론 스퍼터링법에 의하여 증착한 AlN와 ZnO 박막의 성장기구에 관한 투과전자현미경 연구

최재형 ,  이정용

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

RF-Magnetron Sputtering을 이용한 Cu₂O Rod 합성

유재록 ,  김세윤 ,  조광민 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

Kinetic Simulation of Magnetron Sputter

C. H. Shon ,  J. K. Lee ,  H. J. Lee

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

The cross - over of the growth orientation in AlN(0002) / Si(001) films during off - axis RF sputter growth.

H. W. Jang ,  M. S. Yi ,  D. Y. Noh

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

Coercivity field control using magnetron sputtering energy

Changjin Yun ,  Jiho Kim ,  Kungwon Rhie 외 2명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2018 .11

Tunneling magnetoresistance of AlN / Co / AlN type discontinuous films

C. J. Yang ,  M. Zhang ,  Z. D. Zhang 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2003 .12

Structural and morphological properties change of Zn and Sn thin films by sputter time

이석희 ,  박주연 ,  최아롬 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02