스퍼터링 방법에 의한 AlN / Si(111)의 성장 방향과 표면 거칠기의 성장 시간에 대한 연구

이민수 ,  이현휘 ,  서선희 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

1998 .08

반응성 RF Magnetron Sputtering법으로 제조된 AlN박막의 증착 변수들이 굴절율에 미치는 영향

남창길 ,  최승우 ,  조동율 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

Growth of AlN Thin Film on Sapphire Substrates and ZnO Templates by RF-magnetron Sputtering

Hyunseok Na

Applied Science and Convergence Technology

2010 .01

A study on the interface of AlN / Si

Yang Suk Roh ,  Shin Cheul Kim ,  Ui Sik Kim 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .07

RF 마그네트론 스퍼터링법에 의하여 증착한 AlN와 ZnO 박막의 성장기구에 관한 투과전자현미경 연구

최재형 ,  이정용

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

The variation of lattice constants of AlN on Si (111) during the growth

M. S. Yi ,  S. H. Seo ,  D. Y. Noh

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .07

Reproducible bias-induced resistance switching in CoO_x thin films prepared by a RF sputtering method

June Sik Kwak ,  Young Ho Do ,  Yoon Cheol Bae 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

RF Sputtering으로 증착한 In2O3:C 박막의 구조 전이 연구

김주현 ,  강현철

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Epitaxial growth of single crystalline AlN on Si(111) substrate using DC magnetron sputtering at room temperature

In-Su SHIN ,  Donghyun KIM ,  Donghyun LEE 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Effects of Sputtering power and targetsubstrate distance on the microstructures of AlN thin films fabricated by reactive RF sputtering

김부경 ,  김병균 ,  노용한

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

In - situ x - ray scattering studies of AlN thin films on sapphire substrates by RF magnetron sputtering

S.H.Seo ,  M.S.Yi ,  H.C.Kang 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

Synthesis and Quality of Cr-doped AlN Thin Films Grown by RF Sputtering

Pham Hong Quang ,  T ,  an Quang Hung 외 4명

Journal of Magnetics

2007 .12

RF-Magnetron Sputtering법으로 제작된 금속 PCB용 AlN 절연층의 특성

박정식 ,  류성원 ,  배강 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Characteristics of AlN thin film prepared by biased reactive RF mangetron sputtering

Shin Cheul Kim ,  Yong Suk Roh ,  Ui Sik Kim 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .07

Growth of ZrO₂ Thin Films Using RF Magnetron Sputtering and Study of Their Surface Characteristics

Yong Sup Sin ,  In Seob Bae ,  Hyon Tae Kwak 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

PAMBE를 사용하여 Si 기판 위에 성장된 AIN 박막의 결정성 분석

홍성의 ,  한기평 ,  백문철 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

2001 .04

Influence of surface energy on the microstructure evolution of AlN films synthesized by D.C magnetron sputtering

Y. M. Chung ,  M. J. Min ,  Y. M. Kim 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

Tunneling magnetoresistance of AlN / Co / AlN type discontinuous films

C. J. Yang ,  M. Zhang ,  Z. D. Zhang 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2003 .12

Surface properties of Nb oxide thin films prepared by rf sputtering

박주연 ,  강용철

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

PAMBE를 사용하여 성장된 AlN의 성장온도에 따른 AlN / Si의 구조적 특성 분석

홍성의 ,  한기평 ,  백문철 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02