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저자정보
박정식 (대구가톨릭대학교) 류성원 (대구가톨릭대학교) 배강 (대구가톨릭대학교) 손선영 (대구가톨릭대학교) 김용모 (KI-Ximax) 김갑석 (KI-Ximax) 김화민 (대구가톨릭대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제38회 동계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2010.2
수록면
176 - 176 (1page)

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2010

금속 PCB용 절연막으로 RF-Magnetron Sputtering 방법으로 제작된 AlN 후막의 특성
박정식 ,  장지원 ,  김동영 외 2명 대한전자공학회 학술대회 2010.06 학술대회자료
금속 PCB용 절연막으로 RF-Magnetron Sputtering 방법으로 제작된 AlN 후막의 특성
박정식 ,  장지원 ,  김동영 외 2명 대한전자공학회 학술대회 2010.06 학술대회자료
RF-Magnetron Sputtering법으로 제작된 금속 PCB용 AlN 절연층의 특성
박정식 ,  류성원 ,  배강 외 4명 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.02 학술대회자료

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박정식 ,  장지원 ,  김동영 외 2명 대한전자공학회 학술대회 2010 .06
반도체 알루미늄 라인 사이의 AlN 영향
권성우 ,  배종용 ,  구경모 외 6명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2012 .05
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착된 AlN 박막의 물리적, 화학적 특성에 관한 연구
윤철 ,  김상호 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2009 .10

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