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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제12권 제4호
발행연도
2003.12
수록면
214 - 217 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (5)

2004

산소 가스 유량비 따른 ZnO 박막의 결정학적 특성에 관한 연구
금민종 ,  김현웅 ,  김경환 한국진공학회 학술발표회초록집 2004.02 학술대회자료
FTS법으로 제작한 ZnO/AZO 박막의 결정학적 특성
금민종 ,  최형욱 ,  김경환 외 2명 전기전자재료학회논문지 2004.01 학술저널

2003

ZnO Buffer Layer에 의한 ZnO 박막의 결정학적 특성에 관한 연구
금민종 ,  손인환 ,  이정석 외 2명 Applied Science and Convergence Technology 2003.12 학술저널
Buffer Layer에 의한 ZnO 박막의 결정학적 특성에 관한 연구
금민종 ,  손인환 ,  이정석 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2003.02 학술대회자료
FBAR용 ZnO/SiO2/Si 박막의 결정학적 특성에 관한 연구
금민종 ,  손인환 ,  최명규 외 4명 전기전자재료학회논문지 2003.01 학술저널

초록· 키워드

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본 연구에서는 박막 증착시 발생되는 γ-전자와 같은 고에너지 입자들의 막 충돌에 의한 손상이 적은 대향타겟식 스퍼터링 장치를 이용하여 SiO₂/Si 기판상에 ZnO 박막을 제작하였으며, 막의 결정성에 악 영향을 미치는 초기 성장층을 제어 할 수 있는 ZnO buffer-layer를 도입하여 박막의 결정학적 특성을 알아보았다. 제작된 박막의 결정성 및 c-축 우선배향성은 XRD를 사용하여 측정하였다. 측정 결과 ZnO buffer layer의 두께 10, 20 nm와 가스압력 1 mTorr일 때 ZnO 박막의 결정성이 가장 우수함을 알 수 있었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험 방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

참고문헌

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