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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
정재헌 (부산대학교) 조상현 (부산대학교) 송풍근 (부산대학교)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제46권 제1호
발행연도
2013.2
수록면
16 - 21 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (7)

2013

마그네트론 스퍼터링 시스템을 이용하여 증착한 CIGS 박막의 특성 평가
정재헌 ,  조상현 ,  송풍근 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2013.05 학술대회자료
스퍼터링법으로 제작한 CIGS 박막의 후열처리에 따른 물성 평가
정재헌 ,  조상현 ,  송풍근 한국표면공학회지 2013.02 학술저널

2012

마그네트론 스퍼터링을 이용하여 증착한 CIGS 박막의 열처리 공정에 따른 미세구조 및 특성 평가
정재헌 ,  조상현 ,  송풍근 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2012.11 학술대회자료
RF 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 온도별로 증착한 CIGS 박막의 미세구조 및 화학 조성 분석
정재헌 ,  조상현 ,  송풍근 한국진공학회 학술발표회초록집 2012.08 학술대회자료
RF 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 증착한 CIGS 박막의 다양한 열처리 공정 후 미세구조 및 화학 조성 분석
정재헌 ,  조상현 ,  송풍근 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2012.05 학술대회자료
DC 및 RF 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 증착한 CIGS 박막의 미세구조 및 화학 조성 평가
정재헌 ,  조상현 ,  송풍근 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2012.05 학술대회자료

2011

마그네트론 스퍼터링을 이용하여 증착한 CIGS 박막의 미세구조 및 화학 조성 평가
정재헌 ,  조상현 ,  송풍근 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2011.11 학술대회자료

초록· 키워드

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CIGS (Cu-In-Ga-Se) films were deposited on the Mo coated soda lime glass (Mo/SLG) by RF magnetron sputtering using a single sintered target with different chemical compositions. Heat treatment of the CIGS films were carried out under three different conditions, 1step (350℃ for 2 hour and 550℃ for 2 hour) and 2step (350℃ for 1 hour and 550℃ for 1 hour). In the case of CIGS films post-annealed on 2step method, grain size remarkably increased compared to other methods, indicating that chemical composition [Cu/(Ga+In) = 1] of CIGS films was same as CIGS target. After heat treatment by 2step method, band gap energy of the CIGS film deposited at RF 80 W showed 1.4 eV which is broadly similar to identical band gap energy (1.2 eV) of CIGS film prepared by evaporation method. Therefore, 2step heat treatment method could be expected to low temperature process.
#CIGS #Cu(In,Ga)Se₂ #CIGS sintered disc #Thin film solar cell #Magnetron sputtering

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌

참고문헌 (9)

참고문헌 신청
1. [학술대회논문] - K. W. Mitchell / 1989 / / Proc. 20th IEEE Photovoltaic Specialists Conf. : 1384 ~ google schola 2. [학술대회논문] - A. M. Gabor / 1994 / / 12th European Photovoltaic Solar Energy Conf. : 1 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - D. Haneman / 1988 / / Crit. Rev. Solid State Mater. Sci 14 : 377I ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - A. Rockett / 1991 / / J. Appl. Phys 70 : R81 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - U. Rau / 1999 / / Appl. Phys A69 : 131 ~ google schola

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