반도체 제조 공정용 건식 펌프(Dry pump)의 세계적 기술 동향 및 공정 적용 사례

박상순

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 박상순

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제18회 학술발표회논문개요집

발행연도: 2000.2

수록면: 29 - 29 (1page)

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