지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
등록된 정보가 없습니다.
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
반도체/디스플레이 공정급 건식진공펌프 개발 개요
Applied Science and Convergence Technology
2010 .07
건식진공펌프 개발 국내외 동향
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
건식 진공펌프의 소음특성에 대한 실험적 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
반도체 공정용 진공 펌프의 에너지 소비특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
펌프 내구성에 영향을 주는 반도체 공정 부산물 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
반도체급 공정용 건식진공펌프 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .08
스크류 형 건식진공펌프 기술 현황 및 응용
Applied Science and Convergence Technology
2008 .07
저진공 드라이펌프의 용량과 컨덕턴스에 따른 배기속도의 비교 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
건식 진공펌프에서의 소비전력과 펌프의 특성들의 상관관계 비교실험
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
반도체 디스플레이 제조기술: 진공에서 비진공, 다시 진공으로, 기술의 순환
진공이야기
2019 .03
반도체 제조 공정용 건식 펌프(Dry pump)의 세계적 기술 동향 및 공정 적용 사례
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
반도체 및 디스플레이 공정용 진공부품의 내식 성능평가 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
건식타입 저진공용 토러스 진공 펌프 개발(1)
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
건식타입 저진공용 토러스 진공 펌프 개발(2)
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
건식 진공펌프의 상태진단을 위한 PMS 프로그램 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
진공펌프 진단기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
반도체 공정에서의 진공 시스템 구성 및 역할
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
반도체 공정의 배기계통 및 진공펌프 실시간 상태진단기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
공정용 건식 저 진공 펌프의 stator/rotor 교체에 따른 운전 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
초박막 공정용 진공펌프 특성평가 및 복합 상태 진단기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
0