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반도체 공정에서의 진공 시스템 구성 및 역할
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
잔류기체분석기 특성평가장치 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .08
진공공정 실시간 측정 기술 개발 동향
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
반도체 공정용 진공 펌프의 에너지 소비특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
TFT-LCD 제조에 사용되는 진공 공정과 플라즈마의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
반도체 공정용 대형 알루미늄 진공용기 제작
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
반도체 제조 공정용 건식 펌프(Dry pump)의 세계적 기술 동향 및 공정 적용 사례
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
반도체 및 LCD 공정이 TMP 성능에 미치는 영향 및 대응 방안
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
반도체 플라즈마 이온 주입공정에서 직류 펄스 전압, 전류 감지를 통한 실시간 도즈 모니터링 시스템 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
반도체와 진공기술
한국진공학회 학술발표회초록집
1991 .07
진공관련 공정장비의 특성 평가시스템 구축에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
An Operating Methodology of SPC System in LCD Industries
한국데이터정보과학회지
2005 .09
질량분석 기반 반도체 공정 화학반응 실시간 진단기술 및 사례
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
초박막 공정용 진공펌프 특성평가 및 복합 상태 진단기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
QMS를 이용한 반도체 공정용 혼합 기체 조성비의 정량적 측정 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
반도체 공정의 배기계통 및 진공펌프 실시간 상태진단기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
PCDS: 반도체 및 디스플레이 공정 시 실시간 입자 분석 및 모니터링 방법
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
진공 핵심 부품 소재의 특성평가 및 진공공정 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .08
반도체 및 디스플레이 공정용 진공부품의 내식 성능평가 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
반도체 디스플레이 제조기술: 진공에서 비진공, 다시 진공으로, 기술의 순환
진공이야기
2019 .03
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