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진공펌프 진단기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
반도체 공정용 진공 펌프의 에너지 소비특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
반도체와 진공기술
한국진공학회 학술발표회초록집
1991 .07
건식진공펌프 개발 국내외 동향
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
반도체 디스플레이 제조기술: 진공에서 비진공, 다시 진공으로, 기술의 순환
진공이야기
2019 .03
반도체 공정의 배기계통 및 진공펌프 실시간 상태진단기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
저진공펌프의 복합 성능평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
실 공정에서의 저진공 드라이펌프의 에너지 소비량 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
상용화를 위한 진공펌프 신뢰성평가에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
초박막 공정용 진공펌프 특성평가 및 복합 상태 진단기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
저진공 드라이펌프의 용량과 컨덕턴스에 따른 배기속도의 비교 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
진공펌프 에너지 실시간 모니터링 시스템 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
진공펌프 종합특성 평가장치 구축 ; 정적형유량계를 이용한 저진공펌프의 성능평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
반도체 공정에서의 진공 시스템 구성 및 역할
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
Smart형 PMS를 이용한 진공펌프 상태진단 기술 개발 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
반도체/디스플레이 공정급 건식진공펌프 개발 개요
Applied Science and Convergence Technology
2010 .07
반도체 공정의 에너지 저감에 따른 드라이펌프의 에너지 소비특성 평가 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
저진공펌프의 동적 측정을 통한 상태진단 인자 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .02
반도체 및 디스플레이 공정용 대용량 건식 진공펌프의 내구성평가에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
공정현장 적응능력 평가를 위한 드라이펌프의 실시간 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
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