초고진공 구동 장비들의 outgassing 특성

이규장

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이규장

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제9회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1995.6

수록면: 59 - 60 (2page)

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