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저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제13회 학술발표회논문개요집
발행연도
1997.7
수록면
108 - 109 (2page)

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목차

1. 서론

2. 실험장치 및 방법

3. 실험결과 및 고찰

4. 결론

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