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유기금속화합물을 이용한 원자층단위 증착에 의한 금속확산 방지층의 증착특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
하이브리드 화학증기증착법을 이용한 금속기판 위 그래핀의 저온합성
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
성능 PM10/2.5/1 실시간 모니터링 장치 개발
한국대기환경학회 학술대회논문집
2012 .05
AIIP법으로 증착한 Al 피막의 증착율 및 증기분포에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
한국형 증기모형의 개발
한국기상학회 학술대회 논문집
2007 .04
증착공정에서 발생하는 플라즈마의 실시간 측정과 증착박막에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
Polysilicon 박막 증착을 위한 화학증착공정 중 공정변수에 따른 오염입자발생특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
촉매금속의 증착방법에 다른 carbon nanotube의 성장 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
대기 중 PM2.5의 이온 및 금속성분에 대한 준실시간 모니터링 결과의 정확도 분석
한국대기환경학회 학술대회논문집
2012 .10
유기금속전구체를 이용하여 플라즈마 원자층 증착법으로 증착된 TaN과 TiN 박막의 물성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
진공공정에서의 잔류기체 분석기를 활용한 실시간 공정 모니터링 : 반도체/LCD 제조 공정을 중심으로
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
유기금속화학증착법에 의하여 실리콘 기판위에 성장된 양질의 GaP 형성기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
증착공정에서 산소유량 제어에 따른 박막 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
DC 마그네트론 스퍼터법에 의해 증착한 금속박막의 실시간 면저항 변화 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
E- beam 증착법으로 증착된 Sn/In 박막의 전기적/광학적 특성 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
금속산화물 원자층 증착법을 이용한 전자섬유 색 제어
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
R&D용 원자층 증착기술 및 증착장비(ALD) 소개
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
치료중 실시간 모니터링을 위한 투과형 빔측정장치 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
실험계획법을 이용한 대구경용 코발트 박막의 스퍼터 조건 최적화
한국자기학회지
2002 .12
상압 플라즈마를 이용한 고품질 고속증착 실리콘 박막의 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
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