D. C Magnetron Sputtering을 이용한 고정밀 TaN Film제조에 관한 연구

허명수; 이건환; 천희곤; 권식철; 조동을

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저자정보: 허명수 이건환 천희곤 권식철 조동을

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제4회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1993.2

수록면: 59 - 59 (1page)

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-554-018011821

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