Deposition technique of IGZO film for large sputtering cathode

Yasuo OOKUBO; Makoto ARAI; Junya KIYOTA; Kazuya SAITO

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저자정보: Yasuo OOKUBO (ULVAC Japan) Makoto ARAI (ULVAC Japan) Junya KIYOTA (ULVAC Japan) Kazuya SAITO (ULVAC Japan)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2016년 한국진공학회 IVC-20 (제51회 하계정기학술대회 초록집)

발행연도: 2016.8

수록면: 304 - 304 (1page)

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