Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition을 이용한 SiOx 박막 형성

김가영 ,  박재범 ,  염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

HMDSO와 산소를 이용한 PECVD 증착 SiOxCy필름의 특성연구

김성룡 ,  이호영

Applied Science and Convergence Technology

2001 .07

SiOx / (FePt, CoPt) / SiOx / Al 다층 박막의 극 Kerr 효과 수치해석

서동우 ,  박용우 ,  류호준 외 3명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2003 .06

Characteristics of plasma polymerization films using HMDSO precursor on 316L stainless

Ying LEE ,  Si-Bu WANG ,  Jyh-Wei LEE 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Wettability control in C-SiOx film formed by plasma polymerization of HMDSO/O₂ mixture

Seong Jin Kim ,  Kwang-Ryeol Lee ,  Myoung-Woon Moon

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Dissociation energy lowering of SiOx by Au

Kyoung-Jae Lee ,  Kyuwook Ihm ,  Mi-Hyun Yang 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .08

Characteristics of SiOx thin films deposited by atmospheric pressure chemical vapor deposition using a double discharge system

박재범 ,  길엘리 ,  염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

세계의 포장 - 배리어 기능 PET보틀 "내면 플라즈마 SiOx 증착"

흑암효

포장계

2015 .01

"이형필름"에 대하여

마장정호

포장계

1999 .01

High energy-electron-beam induced modification of Aluminum and Titanium films on SiOx

이경재 ,  임규욱 ,  강태희 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Low-temperature remote plasma-enhanced chemical deposition of SiOx thin films on organic substrate

김덕진 ,  황진영 ,  이내응

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .08

Electrical properties of Al/SiOCH/p-Si(100) structure with HMDSO/O₂ precursors deposited by PECVD

Young Jun Jang ,  R. Navamathavan ,  Doo Chul Kim 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .02

Chemical Bonding Structures of Low-k SiOCH films with HMDSO and O₂ precursors deposited by PECVD

Seung Hyun Kim ,  R. Navamathavan ,  Doo Chul Kim 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .02

Oxidation Mechanism of Si in the Growth of SiOx Thin Film by Ion Beam Sputter Deposition

Kyung Joong Kim ,  Dae Won Moon ,  Moon-Seung Yang 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .08

Strong 380㎚ ultraviolet photoluminescence from SiOx (x＜2)film prepared by PECVD

Sol Lee ,  Byoungyoul Pa ,  k 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .02

a-SiOx window layer의 특성에 따른 비정질 실리콘 박막태양전지 설계 simulation 실험

박승만 ,  공대영 ,  이준신

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Low Temperature PECVD for SiOx Thin Film Encapsulation

Hyung June Ahn ,  Sang Heon Yong ,  Sun Jung Kim 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Surface Modification of Polyimide Films, Filter Papers, and Cotton Cloth by HMDSO/Toluene Plasma at Low-Pressure and their Wettability

Soon Cheon Cho ,  Jin Won Song ,  Chang Soo Han

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Photoluminescence properties by control of the oxygen content and thickness in SiOx / SiO₂superlattices prepared by ion beam sputtering

Moon-Seung Yang ,  Ji-Hong Jhe ,  Jung H. Shin 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .08

PET 필름 및 NYLON 필름 수급 동향

Ko ,  ea Packaging Association INC.

포장계

2008 .01