Low Temperature PECVD for SiOx Thin Film Encapsulation

Hyung June Ahn ,  Sang Heon Yong ,  Sun Jung Kim 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Characteristics of SiOx thin films deposited by atmospheric pressure chemical vapor deposition using a double discharge system

박재범 ,  길엘리 ,  염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Photoluminescence properties by control of the oxygen content and thickness in SiOx / SiO₂superlattices prepared by ion beam sputtering

Moon-Seung Yang ,  Ji-Hong Jhe ,  Jung H. Shin 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .08

High rate deposition and mechanical properties of SiOx film on PET and PC polymers by PECVD with the dual frequencies UHF and HF at low temperature

Su B. Jin ,  Yoon S. Choi ,  In S. Choi 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

Electrical properties of HfO_xN_y thin films deposited by PECVD

J.-H. Pa ,  k ,  J.-S. Hyun 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition을 이용한 SiOx 박막 형성

김가영 ,  박재범 ,  염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

SiOx / (FePt, CoPt) / SiOx / Al 다층 박막의 극 Kerr 효과 수치해석

서동우 ,  박용우 ,  류호준 외 3명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2003 .06

Photoluminescence chracteristics of SiN_x thin film deposited by PECVD at low temperature

Kyungsu Lee ,  Eunkyeom Kim ,  Kyongmin Kim 외 9명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

Environmental reliability and barrier properties of SiOx, SiNx thin film by roll-to-roll PECVD system

Won Jae Lee ,  Tae-Yeon Cho ,  Sung-Hoon Choa 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

High energy-electron-beam induced modification of Aluminum and Titanium films on SiOx

이경재 ,  임규욱 ,  강태희 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Dissociation energy lowering of SiOx by Au

Kyoung-Jae Lee ,  Kyuwook Ihm ,  Mi-Hyun Yang 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .08

Low-temperature remote plasma-enhanced chemical deposition of SiOx thin films on organic substrate

김덕진 ,  황진영 ,  이내응

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .08

Oxidation Mechanism of Si in the Growth of SiOx Thin Film by Ion Beam Sputter Deposition

Kyung Joong Kim ,  Dae Won Moon ,  Moon-Seung Yang 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .08

세계의 포장 - 배리어 기능 PET보틀 "내면 플라즈마 SiOx 증착"

흑암효

포장계

2015 .01

TiN 박막제조를 위한 PECVD 공정의 해석적 연구

안경한 ,  설용건 ,  김선효

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

PECVD로 증착한 Ta₂O5 박막의 전기적 특성 Electrical Characterization of Ta₂O5 Thin Films Deposited by PECVD.

김선우 ,  김형준

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

A study for the hybrid low-k polymer thin films by PECVD and their electrical and mechanical properties

배인섭 ,  조상진 ,  부진효

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

PECVD Synthesis of WS₂ for Hydrogen Evolution Catalysis

Kanade Vinit ,  Hyeong-U Kim ,  Seokjun Hong 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

PECVD 공정에 의해 제작된 SION박막 특성 분석

정재욱 ,  추성중 ,  박정호

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

HMDSO와 산소를 이용한 SiOx 필름의 특성연구

김성룡 ,  송준섭 ,  박성철 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07