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나노트로볼로지를 이용한 질화 텅스텐 박막의 열적 안정성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
WN 박막을 이용한 저항 변화 메모리 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
AN EXTENDED NON-ASSOCIATIVE ALGEBRA
호남수학학술지
2007 .01
Si₃N₄상에 PECVD법으로 형성한 텅스텐 박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
Nano-Mechanics 분석을 통한 질화 텅스텐 확산방지막의 질소 유량에 따른 박막내 응력 변화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
Reactive sputtering 방법으로 증착된 W nitride 박막의 특성
Applied Science and Convergence Technology
2002 .04
마이크로 구동 요소부품의 PECVD를 이용한 플라즈마 질화 공정의 기계적특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
SF6 플라즈마를 이용한 텅스텐 박막의 반응성 이온 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
Plastic film의 투명 보호막 적용을 위한 PECVD법으로 제작된 SiOx 박막연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
Dual Arc Ion Plating법에 의한 Cr 첨가 질화탄소 박막의 특성 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
수소가 흡착된 텅스텐(110) 표면의 이론적 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .06
대청호에서의 질화작용에 관하여
한국동물학회 학술대회
1994 .01
텅스텐 박막의 층덮힘에 대한 조업변수의 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
질화규소 삽입층을 이용한 a면 질화갈륨 박막의 깊은 준위 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
SF6 플라즈마를 이용한 텅스텐 실리사이드 박막의 반응성 이온 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .02
운반기체가 텅스텐 박막의 물성에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .02
TiSi gate 및 텅스텐 B / L spacer용 SiN 박막 증착 공정 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
오스테나이트계 스테인레스강의 플라즈마 질화공정에 의한 내식성 평가에 대한 고찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
질소 플라즈마를 이용한 실리콘 질화막의 제작 및 실리콘 질화막과 실리콘구조의 계면분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .07
보조음극을 이용한 S45C의 이온질화
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
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