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이용수
1. 서론
2. 실험
3. 결과
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
텅스텐 박막의 층덮힘에 대한 조업변수의 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
마이크로파 플라즈마 화학기상증착법(PECVD)과 저압 화학기상증착법(LPCVD)을 이용한 실리콘 기판 위에서의 텅스텐 박막증착
Applied Science and Convergence Technology
1992 .06
기체의 성질
Applied Science and Convergence Technology
1993 .06
운반기체와 Ligand의 첨가가 MOCVD Cu 증착에 미치는 영향에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
2000 .09
열산화 방법으로 제작한 WO₃ 박막의 안정성 연구
Applied Science and Convergence Technology
1999 .05
LPCVD로 증착한 텅스텐 박막의 증착 조건 제어에 의한 접착성 및 저항 특성 향상
Applied Science and Convergence Technology
2000 .12
Effect of Particle Size of Tungsten Powder on the Properties of Vacuum Plasma Sprayed Tungsten coatings
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
불순물을 주입한 텅스텐(W) 박막의 확산방지 특성과 박막의 물성 특성연구
Applied Science and Convergence Technology
2008 .11
Si₃N₄상에 PECVD법으로 형성한 텅스텐 박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
텅스텐 폴리사이드막의 열산화에서 인 불순물 효과
Applied Science and Convergence Technology
1995 .09
Nano-Mechanics 분석을 통한 질화 텅스텐 확산방지막의 질소 유량에 따른 박막내 응력 변화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
The Influence of Carrier Gas in the Analysis of Alumina Powders by Laser Ablation Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry
한국분석과학회 학술대회
2008 .11
Gas flow pattern through a long round tube of a gas fueling system (Ⅰ)
Applied Science and Convergence Technology
2006 .09
Electron Scattering at Grain Boundaries in Tungsten Thin Films
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
SF6 플라즈마를 이용한 텅스텐 박막의 반응성 이온 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
나노트로볼로지를 이용한 질화 텅스텐 박막의 열적 안정성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
Plastic film의 투명 보호막 적용을 위한 PECVD법으로 제작된 SiOx 박막연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
수소가 흡착된 텅스텐(110) 표면의 이론적 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .06
c - BN박막의 기계적 물성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
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