동시증착에 의한 Si(111) - 7×7 기판 위에 TiSi₂ 에피택셜 성장

최치규 ,  류재연 ,  오상식 외 5명

Applied Science and Convergence Technology

1994 .12

Growth of Ti on Si(111) - 7×7 Surface and the Formation of Epitaxial C54 TiSi₂ on Si(111) Substrate

김건호 ,  김인호 ,  이정주 외 9명

Applied Science and Convergence Technology

1992 .02

Ion Beam Mixing과 급속열처리 방법을 이용한 Ti - SALICIDE용 TiSi₂ 박막 개선에 관한 연구

최병선 ,  구경완 ,  천희곤 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

1992 .02

RTN에 의해 형성된 TiN / TiSi₂ Bilayer의 특성

이석형 ,  김헌도 ,  박종완

Applied Science and Convergence Technology

1994 .03

In - situ solid phase epitaxial growth of C49 and C54 - TiSi₂ on the Si(111) - 7×7 substrate

Chi Kyu Choi

한국진공학회 학술발표회초록집

1994 .02

TiSi₂박막의 ULSI소자에의 응용

김영욱

한국진공학회 학술발표회초록집

1994 .02

미소영역에서의 TiSi₂ 상변태

김영철 ,  배종욱 ,  박주철 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

TiN / TiSi₂ - bilayer 형성기구에 관한 연구

최치규 ,  오상식 ,  염병렬 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

Self - aligned TiNxOy / TiSi₂ Contact Formation

천희곤 ,  최병선 ,  구경완 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

박막히터를 사용한 비정질 실리콘의 고상결정화

김병동 ,  정인영 ,  송남규 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

2003 .09

Effect of Si, Ge Pre - implant induced Defects on Electrical properties of P+-n Junctions during Rapid Thermal Annealing

K.I. Kim ,  Y.K. Kwon ,  W.J. Cho 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

DC / RF Magnetron Sputtering Deposition법에 의한 TiSi₂ 박막의 특성 연구

이세준 ,  김두수 ,  성규석 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Comparative Study of Thermal Annealing and Microwave Annealing in a-InGaZnO Used to Pseudo MOSFET

문성완 ,  조원주

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .08

Effect of rapid thermal annealing (RTA) on structural properties of carbon nanotubes

Joonhee Moon ,  Sookhyun Hwang ,  Hoonha Jeon 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .02

In-situ magnetization measurements and ex-situ morphological analysis of electrodeposited cobalt onto chemical vapor deposition graphene/SiO₂/Si

F ,  anco ,  Vinicius C. De 외 10명

Carbon letters

2017 .01

TiSi gate 및 텅스텐 B / L spacer용 SiN 박막 증착 공정 개발

이석민 ,  김명진 ,  김석식

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

Rapid Thermal Annealing Effect on the Structure and Magnetic Properties of FE/PT Multilayer thin Films

Nguyen Dan Phuong ,  Li Fei ,  Young-Min Lee 외 2명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2007 .12

Effect of rapid thermal annealing on CdS films prepared by RF magnetron sputtering

황동현 ,  감대웅 ,  안정훈 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Set voltage improvement of resistive switching in MnO_x using oxygen annealing

Min Kyu Yang ,  Jae-Wan Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

Electrical characterization of TiSi² nanocrystals grown on multi-stacked tunnel layer for non-volatile memory

Seung Jong Han ,  Dong Uk Lee ,  Ki Bong Seo 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08