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PECVD 로 증착한 비정질 실리콘 박막의 고온결정화
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
PECVD 공정에 의해 증착된 비정질 실리콘 박막의 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
수소기처리에 의한 수소화된 비정질규소의 안정성에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
1996 .03
PES 기판위에 Sputter 증착된 비정질 실리콘 박막 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
비정질 실리콘 박막의 초기성장 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
PECVD 를 이용한 비정질 실리콘 박막의 Adhesion 개선에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
나노급 수소화된 비정질 실리콘 두께에 따른 저온 니켈실리사이드 물성 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
rf-magnetron sputter 증착기술을 이용한 태양전지용 p형 비정질 실리콘 박막의 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
PES 기판위에 Sputter로 증착된 비정질 실리콘 박막의 Excimer Laser 결정화
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
비정질 실리콘 박막의 2차 전자 방출계수 γ 의 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .02
수소 원자에 의한 실리콘(100)에 화학 흡착된 수소 추출
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
비정질실리콘 MIS 캐패시터의 C - V 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
PES 기판위에 Sputter로 증착된 비정질 실리콘 박막의 Excimer Laser Crystallization
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
실리콘 산화물 및 질화물 증착을 위한 신규 실리콘 증착소재의 실시간 진단 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
비정질 탄소막 (a-C:H) 내에 존재하는 수소에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
Penning 방전을 이용한 실리콘 CVD
Applied Science and Convergence Technology
1996 .03
태양전지 적용을 위한 PECVD 실리콘 질화막 증착 및 증착온도 가변에 따른 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
ICP CVD에 의해 증착된 비정질 및 마이크로크리스탈라인 실리콘 박막의 이종접합 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
타원편광분석법을 이용한 비정질 실리콘의 결정화 과정 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
비정질 실리콘 박막에서 결정상 실리콘의 입자성장에 관한 고분해능 투과전자현미경에 의한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .07
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