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학술대회자료
저자정보
김종률 (서울시립대학교) 최용윤 (서울시립대학교) 송오성 (서울시립대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제35회 하계정기학술대회 초록집
발행연도
2008.8
수록면
62 - 62 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2008

60 ㎚ 와 20 ㎚ 두께의 수소화된 비정질 실리콘에 따른 저온 니켈실리사이드의 물성 변화
김종률 ,  박종성 ,  최용윤 외 1명 Applied Science and Convergence Technology 2008.11 학술저널
나노급 수소화된 비정질 실리콘 두께에 따른 저온 니켈실리사이드 물성 변화
김종률 ,  최용윤 ,  송오성 한국진공학회 학술발표회초록집 2008.08 학술대회자료
ICP-CVD 비정질 실리콘에 형성된 처리온도에 따른 저온 니켈실리사이드의 물성 변화
김종률 ,  최용윤 ,  박종성 외 1명 한국산학기술학회 논문지 2008.04 학술저널

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