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실시간 입자 복합특성 분석장치를 이용한 pecvd 공정 발생 입자의 분석 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
PECVD 내에서 수소 펄스를 이용하여 생성되는 실리콘 입자의 변수에 따른 입경 분포 특성 실시간 분석에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
He-SiH4혼합가스를 이용하여 RF-PECVD에 의해 증착된 수소화된 나노결정질 실리콘 박막의 재료적 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
RF 플라즈마를 이용한 실리콘 나노입자의 합성 및 태양전지 응용에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
PECVD법에 의한 비정질 실리콘 질화막의 제조 및 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
가스 펄스를 이용한 플라즈마 공정 중 생성되는 실리콘 나노입자의 변수에 따른 발생 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
PECVD로 제작한 실리콘 질화막 및 산화막의 발광 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .08
PECVD 공정에 의해 증착된 비정질 실리콘 박막의 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
바이오 센서 응용을 위한 Tree-like 실리콘 나노와이어의 표면성장 및 특성파악
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
PBMS (Particle Beam Mass Spectrometer)를 이용한 실리콘 나노입자 합성 특성의 실시간 분석에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
200℃에서 PECVD로 증착한 실리콘질화막의 특징
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
열적 응집된 Pt 나노입자 마스크를 이용한 실리콘 나노구조 제작
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
TiN 박막제조를 위한 PECVD 공정의 해석적 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
PECVD 무선주파수 변화에 따른 전면 패시베이션 특성비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
PECVD법에 의한 다성분 Fe - O계 박막 제조
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
열분해법을 이용한 실리콘 나노입자 형성과정 수치해석 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
PECVD 로 증착한 비정질 실리콘 박막의 고온결정화
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
나노갭 소자를 이용한 금속 나노입자 검출
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
Electrical properties of HfOxNy thin films deposited by PECVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
태양전지 적용을 위한 PECVD 실리콘 질화막 증착 및 가스비 가변에 따른 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
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