PECVD로 증착한 비정질 실리콘 TFT소자의 게이트 두께가 a-SiN:H 절연막의 stress에 미치는 영향

신승훈; 최시영

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 신승훈 (경북대학교) 최시영 (경북대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제34회 동계정기학술대회 초록집

발행연도: 2008.2

수록면: 198 - 198 (1page)

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