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발광 실리콘의 제작과 특성 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .02
발광특성을 가지는 실리콘 나노 미립자 제작
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
PECVD 공정에 의해 증착된 비정질 실리콘 박막의 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
200℃에서 PECVD로 증착한 실리콘질화막의 특징
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
PECVD법에 의한 비정질 실리콘 질화막의 제조 및 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
PECVD 공정에 의해 제작된 SION박막 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
PECVD를 이용한 실리콘 나노입자의 제조 및 포집
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
PECVD 무선주파수 변화에 따른 전면 패시베이션 특성비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
PECVD 로 증착한 비정질 실리콘 박막의 고온결정화
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
He-SiH4혼합가스를 이용하여 RF-PECVD에 의해 증착된 수소화된 나노결정질 실리콘 박막의 재료적 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
이중 발광층을 가진 청색 유기발광소자의 발광효율 증가 메커니즘
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
이온빔 주입에 의한 실리콘 산화막 내의 실리콘 나노결정 형성 및 PL특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
Electrical properties of HfOxNy thin films deposited by PECVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
태양전지 적용을 위한 PECVD 실리콘 질화막 증착 및 가스비 가변에 따른 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
다결정 실리콘 비휘발성 메모리를 위한 다층 구조 및 두꺼운 터널링을 이용한 전하지속시간의 향상에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
PECVD Synthesis of WS₂ for Hydrogen Evolution Catalysis
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
PECVD 내에서 수소 펄스를 이용하여 생성되는 실리콘 입자의 변수에 따른 입경 분포 특성 실시간 분석에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
Stabilization of Real-time Thickness monitoring system in PECVD chamber
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
적층 발광구조를 이용한 청색 유기발광소자의 발광효율 증진 효과 이해
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
원자층 증착법으로 형성된 실리콘 산화막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .08
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