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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제8권 제2호
발행연도
1999.5
수록면
136 - 140 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1999

열산화 방법으로 제작한 WO₃ 박막의 안정성 연구
조형호 ,  임원택 ,  안일신 외 1명 Applied Science and Convergence Technology 1999.05 학술저널

1998

열적 산화(thermal oxidation) 방법으로 제작한 WO₃ 박막의 안정성 연구.
조형호 ,  임원택 ,  안일신 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 1998.07 학술대회자료

초록· 키워드

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WO₃를 EC 소자로 사용하는데 있어 안정성과 반응시간은 해결해야 할 주요 문제점이다. EC 소자의 안정성과 반응시간은 전해질의 종류와 시편의 제작 조건(증착온도, 가스비 등), 시편의 제작 방법에 따라 달라진다. 본 논문은 제작 방법을 달리한 세 종류의 텅스텐 산화막 즉, 유리기판위에 텅스텐 금속을 증착하여 열산화시킨 시편과 텅스텐 산화물을 직접 증착시킨 시편, 그리고 텅스텐 plate를 열산화시킨 시편들의 전해질에 대한 안정성 연구이다. 그 결과 기존에 주로 사용하던 증착 방법과는 다른 방법으로 plate 위에서 열산화시킨 텅스텐 산화막에서 뛰어난 안정성이 관찰되었다.(수명; ~10^6 cycle 이상) 이 결과는 텅스텐과 산소의 화학량 론적 결합, 막의 결정도 및 밀도와 관련이 있음을 알 수 있었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험

3. 결과 및 토의

4. 결론

감사의 글

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