Ion Beam Mixing과 급속열처리 방법을 이용한 Ti - SALICIDE용 TiSi₂ 박막 개선에 관한 연구

최병선 ,  구경완 ,  천희곤 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

1992 .02

동시증착에 의한 Si(111) - 7×7 기판 위에 TiSi₂ 에피택셜 성장

최치규 ,  류재연 ,  오상식 외 5명

Applied Science and Convergence Technology

1994 .12

Growth of Ti on Si(111) - 7×7 Surface and the Formation of Epitaxial C54 TiSi₂ on Si(111) Substrate

김건호 ,  김인호 ,  이정주 외 9명

Applied Science and Convergence Technology

1992 .02

TiSi₂박막의 ULSI소자에의 응용

김영욱

한국진공학회 학술발표회초록집

1994 .02

SiO₂와 Co / Ti 이중층 구조의 상호반응

권영재 ,  이종무 ,  배대록 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

1998 .08

DC / RF Magnetron Sputtering Deposition법에 의한 TiSi₂ 박막의 특성 연구

이세준 ,  김두수 ,  성규석 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

RTN에 의해 형성된 TiN / TiSi₂ Bilayer의 특성

이석형 ,  김헌도 ,  박종완

Applied Science and Convergence Technology

1994 .03

비정질 CIGS 박막의 급속열처리 온도 상승률에 따른 물성 변화

김찬 ,  홍성욱

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

미소영역에서의 TiSi₂ 상변태

김영철 ,  배종욱 ,  박주철 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

Formation of TiSi₂ on the n-type <100> Si by Rapid Thermal Annealing

엄우용 ,  장호정 ,  장지근 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

TiSi gate 및 텅스텐 B / L spacer용 SiN 박막 증착 공정 개발

이석민 ,  김명진 ,  김석식

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

TiN박막형성에 미치는 ion beam조사효과

안정식 ,  조남제 ,  장문식 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

TiN / TiSi₂ - bilayer 형성기구에 관한 연구

최치규 ,  오상식 ,  염병렬 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

Atomic layer deposition of high-k dielectrics on graphene through controlled Ar⁺ Ion beam process

You Jin JI ,  Ki Seok KIM ,  Ki Hyun KIM 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Ion beam mixing을 이용한 Cu / PI계에서 계면 특성에 관한 연구

정성문 ,  채근화 ,  김상옥 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .07

열처리에 따른 Y₂O₃ 박막의 미세구조와 전기적 특성 변화에 대한 고찰

정윤하 ,  강성관 ,  김은하 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

In - situ solid phase epitaxial growth of C49 and C54 - TiSi₂ on the Si(111) - 7×7 substrate

Chi Kyu Choi

한국진공학회 학술발표회초록집

1994 .02

Ion beam mixing 에 의한 금속 / 세라믹 계의 계면 특성

박남석 ,  김창한 ,  이재철 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

Focused ion beam technology and applications.

Seung-Oun Kang ,  Guna-Sup Cho ,  Tae-Hwan Kim 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .02