웨이퍼 다이 위치 인식을 위한 명암 영상 코너점 검출

나재형; 오해석

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자료유형: 학술저널

저자정보: 나재형 오해석

저널정보: Korean Institute of Information Scientists and Engineers 정보과학회논문지 : 소프트웨어 및 응용 정보과학회논문지 : 소프트웨어 및 응용 제31권 제6호

발행연도: 2004.6

수록면: 792 - 798 (7page)

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본 논문에서는 웨이퍼 영상에서 다이 위치를 인식하기 위한 새로운 코너점 검출 방법을 제안한다. 웨이퍼 다이 위치 인식은 WSCSP(Wafer Scale Chip Scale Packaging)기술에 필수적인 과정으로서 웨이퍼 윗면의 다이 패턴을 얼마나 정확히 인식하느냐에 따라서 후 공정의 정확도가 결정된다. 본 논문에서는 정확한 다이 위치를 인식하기 위하여 계층적 명암 영상 코너 검출 방법을 제안한다. 새로운 코너 검출자는 코너 영역을 마스크 크기에 따라서 동심원으로 나누어 각각의 동심원에서의 코너성과 방향성을 구하여 정확한 코너점을 검출하도록 하였다. 또한 계층적 구조를 가지고 처리하여 기존의 명암 영상코너 검출자보다 더 빠른 처리 속도를 얻을 수 있도록 하였다.

참고문헌 (11)

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[학술지(정기간행물)] - / 2002년6월 / 스테레오 비젼을 위한 다해상도 코너 검출

[학술지(정기간행물)] - / 1999. / Analysis of gray level corner detection 20 : 149 ~ 162

[학술지(정기간행물)] - / 1997. / SUSAN - a new approach to low level image processing 23 (1) : 45 ~ 78

[학술지(정기간행물)] - / 1999. / Corner detection and curve representation by circular histograms of contour chain code 35 (13) : 1065 ~ 1067

[학술지(정기간행물)] - / 1973. / Angle detection on digital curves 22 : 875 ~ 878

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오해석

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