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대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제29권 제7호
발행연도
2005.7
수록면
998 - 1,004 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (6)

2015

이광자 광중합 공정을 이용한 나노급 정밀도를 가진 3 차원 폴리머, 금속, 세라믹 제작
박상후 ,  임태우 ,  박석희 외 3명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2015.12 학술대회자료

2007

저밀도 이광자 광중합 영역의 중첩방법을 이용한 기능성 마이크로 채널 제작에 관한 연구
박상후 ,  임태우 ,  양동열 대한기계학회 논문집 A권 2007.12 학술저널
저밀도 이광자 광중합 영역을 이용한 30㎚ 이하의 패턴제작
박상후 ,  임태우 ,  양동열 대한기계학회 춘추학술대회 2007.05 학술대회자료
긴 레이저 조사방식에 의한 저밀도 이광자 광중합 영역을 이용한 Sub-100 ㎚ 정밀도의 엠보싱 패턴제작
박상후 ,  임태우 ,  양동열 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2007.01 학술저널

2005

이광자 흡수 광중합에 의한 3차원 마이크로 쉘 구조물 제작
박상후 ,  임태우 ,  양동열 대한기계학회 논문집 A권 2005.07 학술저널
극미세 3차원 형상의 정밀제작을 위한 이광자 흡수 광중합 공정의 레이저 출력-조사시간 제어방법
박상후 ,  임태우 ,  양동열 외 2명 대한화학회지 2005.06 학술저널

초록· 키워드

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A nano-stereolithography (NSL) process has been developed for fabrication of 3D shell structures which can be applied to various nano/micro-fluidic devices. By the process, a complicated 3D shell structure on a scale of several microns can be fabricated using lamination of layers with a resolution of 150 nm in size, so it does not require the use of any sacrificial layer or any supporting structure. A layer was fabricated by means of solidifying liquid-state monomers using two-photon absorption (TPA) induced using a femtosecond laser processing. When the polymerization process is finished, unsolidified liquid state resins can be removed easily by dropping several droplets of ethanol for developing the fabricated structure. Through this work, some 3D shell structures, which can be applied to various applications such as nano/micro-fluidic devices and MEMS system, were fabricated using the developed process.

목차

Abstract

1. 서론

2. 이론적 연구

3. 나노 스테레오리소그래피 공정

4. 3차원 마이크로 쉘 구조물 제작

5. 결론

참고문헌

참고문헌 (13)

참고문헌 신청
Rosolen, G.C., 1999, "Automatically Aligned Electron Beam Lithography on the Nanometer Scale," Appl. Surf. Sci, Vol. 144, No. 45, pp. 467~471. google schola Dagata, J.A., Schneir, J., Harary, H.H., Evans C.J., Postek, M.T., Bennett, J., 1990, "Modification of Hydrogen-passivated Silicon by a Scanning Tunneling Microscope Operating in Air," Appl. Phys. Lett., Vol. 56, pp. 2001~2003. google schola Piner, R.D., Zhu, J., Xu, F., Hong, S., Mirkin, C.A., 1999, "Dip-Pen Nanolithography," Science, Vol. 283, No. 29, pp. 661~663. google schola Sun, H.B., Maeda, M., Takada, K., Chon, J.W.M., Gu, M., Kawata, S., 2003, "Experimental investigation of single voxels for laser nanofabrication via two-photon photopolyrnerization," Appl. Phys. Lett., Vol. 83, No. 5, pp. 819~821. google schola Kawata, S., Sun, H.B., Tanaka, T, Takada, K., 2001, "Finer features for functional microdevices," Nature, Vol. 412, No. 16, pp.697~698. google schola

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